[发明专利]一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法

摘要

本发明提出一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法。本方法包括步骤：输入参数，调整并确认拼接子图像的数目及方式，数据采集过程，数据拼接，输出结果等。采用在高放大比条件下对板状样品分块扫描采集投影数据，利用正方形“田字格”或六边形“蜂窝状”方式进行图像拼接的方法，最终得到大面积板状样品的高分辨率大视野断层图像。

主权项

1.一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法，应用于一种CL系统的扫描装置，所述扫描装置包括X射线源、载物台、平板探测器、转臂以及固定架，所述扫描装置以非同轴方式扫描，X射线源的射线沿与板状样品法线成一定角度的方向穿过；所述扫描装置设立三维空间坐标系xyz，原点是X射线源，即o点；并设立旋转坐标系x1y1z1，原点是X射线源，即o点，其中：所述平板探测器所在的平面始终与oy1直线垂直，且x1轴与x轴的夹角为θ，0°≤θ＜360°；y1轴与y轴的夹角为旋转坐标系x1y1z1与三维空间坐标系xyz之间的转换关系为：利用所述扫描装置对板状样品进行分块扫描，调整载物台在x、y轴方向的平移运动，使所述板状样品以z轴为旋转轴做圆周运动，所述载物台在空间三维方向上做平移运动，且平板探测器随转臂与所述板状样品做同步运动，使依次扫描板状样品不同的分块，多个分块呈蜂窝状；根据设定的θ角和角情况，在0度到360度范围内旋转转臂，利用所述平板探测器采集所需角度的分块投影数据，对所采集的投影数据进行拼接重建以得到所述板状样品的断层图像；将所述板状样品分为多个六边形进行分块扫描，得到所述板状样品各个分块的投影数据，对这些投影数据进行断层重建、图像拼接，最终得到所述板状样品的高分辨率大视野断层图像。