[发明专利]一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法

权利要求书

1.一种实现板状样品高分辨率大视野CL成像的扫描方法，应用于一种CL系统的扫描装置，所述扫描装置包括X射线源、载物台、平板探测器、转臂以及固定架，所述扫描装置以非同轴方式扫描，X射线源的射线沿与板状样品法线成一定角度的方向穿过；

所述扫描装置设立三维空间坐标系xyz，原点是X射线源，即o点；并设立旋转坐标系x1y1z1，原点是X射线源，即o点，其中：

所述平板探测器所在的平面始终与oy1直线垂直，且x1轴与x轴的夹角为θ，0°≤θ＜360°；y1轴与y轴的夹角为旋转坐标系x1y1z1与三维空间坐标系xyz之间的转换关系为：

利用所述扫描装置对板状样品进行分块扫描，调整载物台在x、y轴方向的平移运动，使所述板状样品以z轴为旋转轴做圆周运动，所述载物台在空间三维方向上做平移运动，且平板探测器随转臂与所述板状样品做同步运动，使依次扫描板状样品不同的分块，多个分块呈蜂窝状；

根据设定的θ角和角情况，在0度到360度范围内旋转转臂，利用所述平板探测器采集所需角度的分块投影数据，对所采集的投影数据进行拼接重建以得到所述板状样品的断层图像；

将所述板状样品分为多个六边形进行分块扫描，得到所述板状样品各个分块的投影数据，对这些投影数据进行断层重建、图像拼接，最终得到所述板状样品的高分辨率大视野断层图像。

2.根据权利要求1所述的CL成像的扫描方法，其特征在于，所述平板探测器采集所需角度的分块投影数据时，采取步进运动的方式，分别采集各个分块子视野在不同旋转角度下的投影数据，并存储。

3.根据权利要求2所述的CL成像的扫描方法，其特征在于，所述平板探测器采集所需角度的分块投影数据时，可以根据低放大比条件下的投影数据选择分块扫描方式和规格。

4.根据权利要求1所述的CL成像的扫描方法，其特征在于，在所述断层图像拼接重建步骤，利用FDK重建算法或迭代重建算法，重建各个子视野的断层图像。

5.根据权利要求1至4任一项所述的CL成像的扫描方法，其特征在于，具体操作步骤包括：A输入系统初始参数；B选择图像拼接方式；C计算运动轨迹；D数据采集；E图像拼接。

6.根据权利要求1所述的CL成像的扫描方法，其特征在于，所述载物台在空间三维方向上做平移运动，具体包括：

所述载物台利用z轴方向的运动调整板状样品的放大比，并利用x、y轴方向的运动实现插补的圆形轨道运动，完成对所述板状样品的分块扫描投影。

7.根据权利要求1所述的CL成像的扫描方法，其特征在于，所述平板探测器的平面始终与所述X射线源在所述平板探测器的中心射束相垂直，且所述平板探测器与所述载物台的运动保持同步。