[发明专利]LCVD长线成膜修补品质监控装置及监控方法在审
| 申请号： | 201410379531.6 | 申请日： | 2014-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN105420694A | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 郭晓辉;颜圣佑;黄俊杰;高印 | 申请（专利权）人： | 上海和辉光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/52 | 分类号： | C23C16/52;H01L51/56 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 张浴月;石海霞 |
| 地址： | 201500 上海市金山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种LCVD长线成膜修补品质监控装置，包括：至少两个测试键，分别设置在面板外围的无效空白区域上；LCVD长线成膜部件，在所述测试键的引脚之间进行长线成膜；以及TEG测试组件，分别对长线成膜后的所述测试键的电阻进行测量，并根据测量后的电阻值对LCVD长线成膜修补品质进行监控。本发明能够对LCVD设备的长线成膜修补品质进行监控，从而提高了产品质量，避免了在后端进行RA验证所造成的时间和原材料的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | lcvd 长线 修补 品质 监控 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种激光化学气相沉积长线成膜修补品质监控装置，包括：至少两个测试键，分别设置在面板外围的无效空白区域上；激光化学气相沉积长线成膜部件，在所述测试键的引脚之间进行长线成膜；以及测试组件，分别对长线成膜后的所述测试键的电阻进行测量，并根据测量后的电阻值对激光化学气相沉积长线成膜修补品质进行监控。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
