[发明专利]LCVD长线成膜修补品质监控装置及监控方法

说明书

技术领域

本发明涉及有机发光二极管(OLED)技术领域，尤其涉及一种LCVD长线成膜修补品质监控装置及监控方法。

背景技术

在OLED的制造过程中，V-line端(即阵列端，负责进行薄膜晶体管TFT部分的制造工艺)常常会因为粒子影响或其它工艺问题而造成断线(open)，这大大增加了产品的报废率。为了能够降低产品的报废率，现有技术利用LCVD(激光化学气相沉积)设备来进行长线成膜修补，以使断线处可以正常导通，并最终将不良品变成正常产品。

然而，现有技术在前端并没有针对LCVD设备的长线成膜修补品质的监控措施，而是工程人员根据目测和经验来决定长线成膜的速度、宽度、厚度等参数，这导致LCVD设备的长线成膜修补品质很难得到保证。

此外，还经常发生组装完成并出货到客户端的产品因LCVD设备长线成膜修补不良而造成的产品不合格，从而导致因产品质量不佳而遭到客户的投诉。

另外，现有技术仅在后端组装成产品后才进行定期RA验证(即，产品成型后在严苛的环境(如高温、高湿等)下进行的可靠性测试)，但由于RA验证的时效性较低(通常需要上百小时，且从阵列端到产品成型也需一定时间)，因此，造成大量产品异常以及后端组装材料大量浪费。

综上所述，需要一种简便易行的方法来对LCVD设备的长线成膜修补品质进行监控。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的问题，提供一种LCVD长线成膜修补品质监控装置及监控方法，通过在面板的无效空白区上设置测试键(Testkey)来对LCVD设备的长线成膜修补品质进行监控。

为实现上述目的，本发明的实施例提供了一种LCVD长线成膜修补品质监控装置，包括：至少两个测试键，分别设置在面板外围的无效空白区域上；LCVD长线成膜部件，在所述测试键的引脚之间进行长线成膜；以及TEG测试组件，分别对长线成膜后的所述测试键的电阻进行测量，并根据测量后的电阻值对LCVD长线成膜修补品质进行监控。

本发明的实施例还提供了一种LCVD长线成膜修补品质监控方法，包括以下步骤：将至少两个测试键分别设置在面板外围的无效空白区域上；在所述测试键的引脚之间进行长线成膜；以及分别对长线成膜后的所述测试键的电阻进行测量，并根据测量后的电阻值对LCVD长线成膜修补品质进行监控。

综上所述，本发明的LCVD长线成膜修补品质监控装置能够在前端有效地监控LCVD设备的长线成膜修补品质，从而提高了产品质量，避免了在后端进行RA验证所造成的时间和原材料的浪费，以及防止修补后不合格的产品出货到客户端所造成的客户投诉。

附图说明

图1为本发明的LCVD长线成膜修补品质监控装置的结构示意图；以及

图2为本发明的LCVD长线成膜修补品质监控方法的流程图。

具体实施方式

下面将详细描述本发明的实施例。应当注意，这里描述的实施例只用于举例说明，并不用于限制本发明。

图1为本发明的LCVD长线成膜修补品质监控装置的结构示意图。如图所示，该LCVD长线成膜修补品质监控装置，包括：至少两个测试键，设置在面板外围的无效空白区域上；LCVD长线成膜部件，在所述测试键的引脚之间进行长线成膜；以及TEG测试组件，分别对长线成膜后的所述测试键的电阻进行测量，并根据测量后的电阻值对LCVD长线成膜修补品质进行监控。

在一个实施例中，无效空白区包括面板内的无效区和面板间的无效区，通常面板内分为有效区(AA区，Activearea)和扇出区(fanoutarea)，面板间的空隙也可以作为面板工艺监控的重要参考区。然而，由于面板内的扇出区多为面板驱动信号所在的区域，因此，为了不影响整体布局，通常不会将测试键(Testkey)设置在面板内的扇出区，而是将其设置在面板间的无效区，即图1中所示的无效区。