[发明专利]MEMS开关设备和制造方法在审
| 申请号： | 201410367891.4 | 申请日： | 2014-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN104347320A | 公开（公告）日： | 2015-02-11 |
| 发明（设计）人： | J·G·麦克纳马拉;P·L·菲兹格拉德;R·C·格金;B·P·斯坦森 | 申请（专利权）人： | 亚德诺半导体集团 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;H01H49/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 百慕大群岛(*** | 国省代码： | 百慕大群岛;BM |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS开关设备和制造方法。一种微机电系统(MEMS)开关设备，包括：基材层；在所述基材层上形成的绝缘层；以及具有在所述绝缘层的表面上形成的多个触点的MEMS开关模块，其中，所述绝缘层包括在绝缘层内形成的多个导电路径，所述导电路径被配置成相互连接所述MEMS开关模块的所选触点。 | ||
| 搜索关键词： | mems 开关设备 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)开关设备，包括：基材层；在所述基材层上形成的绝缘层；和具有在所述绝缘层的表面上形成的多个触点MEMS开关模块，其中，所述绝缘层包括在绝缘层内形成的多个导电路径，所述导电路径被配置成相互连接所述MEMS开关模块的所选触点。
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