[发明专利]一种掩膜板、阵列基板制作方法及阵列基板在审
申请号: | 201410344993.4 | 申请日: | 2014-07-18 |
公开(公告)号: | CN104062843A | 公开(公告)日: | 2014-09-24 |
发明(设计)人: | 施明宏;姜佳丽 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G03F1/00 | 分类号: | G03F1/00;G02F1/1362;H01L21/77;H01L27/12 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 朱绘;张文娟 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种掩膜板及对应的阵列基板制作方法和阵列基板,应用于液晶显示技术领域,该掩膜板包括不透光区域和透光区域,不透光区域包括中间竖直主干、中间水平主干及从中间竖直主干和中间水平主干延伸出的分支,中间竖直主干与中间水平主干分别与其分支形成一定夹角;透光区域包括设在分支之间的第一透光部分,在第一透光部分上设置有光干涉单元,该光干涉单元用以将具有第一光强的光处理为具有第二光强的光,其中第一光强大于第二光强,第二透光部分用于将第一光强的光引入以形成对应阵列基板上的接触孔,本发明还包括采用该掩膜板制作阵列基板的方法和制成的阵列基板。本发明提高了像素单元的开口率,提高了液晶面板的穿透率。 | ||
搜索关键词: | 一种 掩膜板 阵列 制作方法 | ||
【主权项】:
一种掩模板,其特征在于,所述掩膜板包括:不透光区域,所述不透光区域包括中间竖直主干、中间水平主干及从所述中间竖直主干和所述中间水平主干延伸出的分支,所述中间竖直主干与中间水平主干分别与所述分支形成一定夹角;透光区域,所述透光区域包括设在所述分支之间的第一透光部分,其中,在所述第一透光部分上设置有光干涉单元,所述光干涉单元用以将具有第一光强的光处理为具有第二光强的光,其中所述第一光强大于第二光强。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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