[发明专利]旋转清洗装置

摘要

提供一种旋转清洗装置，其在旋转清洗时，能够防止清洗时被污染的喷雾和清洗水再次附着到晶片。旋转清洗装置(1)具备：保持晶片的保持工作台(10)；保持工作台旋转部(15)；清洗水喷射构件(50)；收纳保持工作台的腔(30)；从腔内将气体排出的导管(45)；风扇部件(20)，其形成为圆环形状，并覆盖从保持工作台的表面位置到腔的开口部为止的围绕保持工作台的外周空间；以及使风扇部件旋转的风扇部件旋转部(25)，风扇部件利用风扇部件旋转部进行旋转，由此在保持工作台的上部从风扇部件的圆环形状内周部向风扇部件的外周部产生空气流动，将清洗时的清洗水和喷雾排出到风扇部件的外部并导入至导管。

主权项

一种旋转清洗装置，其具有：圆盘形状的保持工作台，其保持板状物；保持工作台旋转部，其使该保持工作台以竖直方向为旋转轴线进行旋转；以及清洗水喷射构件，其朝向保持于该保持工作台的上表面的所述板状物上喷射清洗水，所述旋转清洗装置的特征在于，其具备：圆筒形状的腔，其收纳所述保持工作台，并且所述腔的上表面开口；导管，其配设于该腔的侧壁，用于从该腔内将气体排出；风扇部件，其形成为圆环形状，并在清洗时覆盖从该保持工作台的表面位置到该腔的开口部为止的围绕该保持工作台的外周空间；以及风扇部件旋转部，其使该风扇部件以竖直方向为旋转轴线进行旋转，该风扇部件利用该风扇部件旋转部进行旋转，由此在该保持工作台的上部且从该风扇部件的该圆环形状的内周部向该风扇部件的外周部产生空气流动，将清洗时的清洗水和喷雾强制排出到该风扇部件的外部并导入至该导管。