[发明专利]旋转清洗装置

权利要求书

1.一种旋转清洗装置，其具有：圆盘形状的保持工作台，其保持板状物；保持工作台旋转部，其使该保持工作台以竖直方向为旋转轴线进行旋转；以及清洗水喷射构件，其朝向保持于该保持工作台的上表面的所述板状物上喷射清洗水，所述旋转清洗装置的特征在于，其具备：

圆筒形状的腔，其收纳所述保持工作台，并且所述腔的上表面开口；

导管，其配设于该腔的侧壁，用于从该腔内将气体排出；

风扇部件，其形成为圆环形状，并在清洗时覆盖从该保持工作台的表面位置到该腔的开口部为止的围绕该保持工作台的外周空间；以及

风扇部件旋转部，其使该风扇部件以竖直方向为旋转轴线进行旋转，

该风扇部件利用该风扇部件旋转部进行旋转，由此在该保持工作台的上部且从该风扇部件的该圆环形状的内周部向该风扇部件的外周部产生空气流动，将清洗时的清洗水和喷雾强制排出到该风扇部件的外部并导入至该导管。

2.根据权利要求1所述的旋转清洗装置，其特征在于，

所述风扇部件固定于所述保持工作台旋转部的外周，该保持工作台旋转部兼作为该风扇部件旋转部，该风扇部件随着该保持工作台的旋转而旋转。