[发明专利]用于探针卡的板及其制造方法和探针卡有效
申请号: | 201410328012.7 | 申请日: | 2014-07-10 |
公开(公告)号: | CN104345187B | 公开(公告)日: | 2017-09-29 |
发明(设计)人: | 赵范俊;崔重讴;罗智星;朴胤辉;吴光宰;秋昊成;申知桓 | 申请(专利权)人: | 塞姆西恩有限公司 |
主分类号: | G01R1/073 | 分类号: | G01R1/073;H05K1/18 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司11283 | 代理人: | 黄志兴,李雪 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用于探针卡的板,该板包括陶瓷板,该陶瓷板包括第一绝缘层、设置在该第一绝缘层的一个表面上的第二绝缘层,第二绝缘层包括用于容纳电子部件的腔;导电图形,该导电图形设置在所述第一绝缘层和第二绝缘层上;导电过孔,该导电过孔与所述导电图形电连接;和电容器,该电容器设置在所述腔中。所腔的深度大于所述电容器的厚度,以确保容纳所述电容器后在所述腔的下部中具有空间。 | ||
搜索关键词: | 用于 探针 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
一种用于探针卡的板,该板包括:陶瓷板,该陶瓷板包括第一绝缘层和设置在该第一绝缘层的第一表面上的第二绝缘层,该第二绝缘层包括用于容纳电子部件的腔;导电图形,该导电图形设置在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层上;导电过孔,该导电过孔与所述导电图形电连接;和电容器,该电容器设置在所述腔中,其中,所腔的深度大于所述电容器的厚度,以确保所述腔的下部在容纳所述电容器后具有空间,并且其中,所述腔的上部与所述第一绝缘层接触,并且所述电容器设置在所述腔的上部之中。
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