[发明专利]形成具有外延隔离部件的图像传感器器件的结构

摘要

本发明提供了形成具有外延隔离部件的图像传感器器件的结构。提供了形成图像传感器器件的结构的实施例。图像传感器器件包括具有正面和背面的衬底。图像传感器还包括形成在衬底中的辐射感测区域。辐射感测区域可用于感测通过背面进入衬底的入射光。辐射感测区域进一步包括形成在衬底中并且邻近于辐射感测区域的外延隔离部件。辐射感测区域和外延隔离部件具有不同的掺杂极性。

主权项

1.一种图像传感器器件，包括：衬底，具有正面和背面；辐射感测区域，形成在所述衬底中，其中，所述辐射感测区域可用于感测通过所述背面进入所述衬底的入射光；以及外延隔离部件，形成在所述衬底中并且邻近于所述辐射感测区域，所述辐射感测区域和所述外延隔离部件具有不同的掺杂极性，所述外延隔离部件的底面低于所述辐射感测区域的底面；其中，所述衬底与所述辐射感测区域具有相同的掺杂极性。