[发明专利]一种高效研磨组合物在审
| 申请号： | 201410282468.4 | 申请日： | 2014-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN104046254A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 张昊亮 | 申请（专利权）人： | 青岛祥海电子有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：磷酸二氢钙1-7份，磷酸氢钙1-3份，过氧化苯甲酰11-18份，乙酸正丁酯14-21份，水杨酸钠2-9份，高岭土9-10份，季戊四醇1-5份，氰尿酸三聚氰胺盐2-3份，水性介质50-55份，纳米石墨粉1-2份，蒙脱土1-3份，氯化钙2-5份。本发明的化学机械研磨剂中包括亲水基表面洁性剂材料，可以降低化学机械研磨剂和正在水性薄膜间的表面张力，使化学机械研磨剂和琉水性薄膜更紧密贴合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 研磨 组合 | ||
【主权项】：
一种高效研磨组合物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：磷酸二氢钙1‑7份，磷酸氢钙1‑3份，过氧化苯甲酰11‑18份，乙酸正丁酯14‑21份，水杨酸钠2‑9份，高岭土9‑10份，季戊四醇1‑5份，氰尿酸三聚氰胺盐2‑3份，水性介质50‑55份，纳米石墨粉1‑2份，蒙脱土1‑3份，氯化钙2‑5份。
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