[发明专利]一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统及其方法有效
| 申请号： | 201410271830.8 | 申请日： | 2014-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104016350A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 冯德志;周奇;李斌;甘居富 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 成都天嘉专利事务所(普通合伙) 51211 | 代理人： | 冉鹏程 |
| 地址： | 614899 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统及其方法，涉及改良西门子法多晶硅还原炉和硅烷CVD法多晶硅还原炉底盘和尾气冷却工艺设备领域。本发明包括还原炉底盘冷却结构和尾气冷却结构，所述还原炉底盘冷却结构与尾气冷却结构之间通过法兰连接；所述尾气冷却结构包括尾气冷却水入口、尾气冷却水出口管和尾气排气管；本发明将底盘冷却和尾气冷却采用不同的温度的冷却水，进而将还原炉底盘下的冷却结构进行改变，改变后的冷却结构，能够充分利用尾气中的热量副产水蒸气，增加效益，不造成热量的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 底盘 尾气 冷却系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统，其特征在于：包括还原炉底盘冷却结构和尾气冷却结构，所述还原炉底盘冷却结构与尾气冷却结构之间通过法兰连接；所述尾气冷却结构包括尾气冷却水入口、尾气冷却水出口管和尾气排气管，所述尾气排气管上设置有夹层套管，所述尾气冷却水入口设置在尾气排气管下端的夹层套管上，所述尾气冷却水出口管设置在尾气排气管上端，且与尾气排气管上的夹层套管连通。
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