[发明专利]一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统及其方法

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统，其特征在于：包括还原炉底盘冷却结构和尾气冷却结构，所述还原炉底盘冷却结构与尾气冷却结构之间通过法兰连接；所述尾气冷却结构包括尾气冷却水入口、尾气冷却水出口管和尾气排气管，所述尾气排气管上设置有夹层套管，所述尾气冷却水入口设置在尾气排气管下端的夹层套管上，所述尾气冷却水出口管设置在尾气排气管上端，且与尾气排气管上的夹层套管连通。

2.如权利要求1所述的一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统，其特征在于：所述尾气冷却结构还包括闪蒸罐和尾气冷却水循环泵，所述闪蒸罐上设置有热水闪蒸阀、循环水口和蒸气出口，所述热水闪蒸阀连接在尾气冷却水出口管上，所述循环水口与尾气冷却水循环水泵连接。

3.如权利要求1或2所述的一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统，其特征在于：所述底盘冷却结构包括还原炉底盘、底盘冷却水入口管、底盘冷却水出口、排气管和冷却水管；所述冷却水管设置在还原炉底盘底部，所述底盘冷却水出口管设置在还原炉底盘下方且连接在冷却水管上，所述底盘冷却水出口管与冷却水管连通；所述排气管上设置有夹层套管，所述排气管连接在还原炉底部，且所述冷却水管与排气管上的夹层套管连通；所述底盘冷却水入口管设置在排气管下部，且所述底盘冷却水入口管与排气管的夹层套管连通。

4.如权利要求3所述的一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统，其特征在于：所述底盘冷却水结构还包括板式换热器和底盘冷却水循环泵，所述底盘冷却水循环泵连接在底盘冷却水出口管处；所述板式换热器一端连接在底盘水循环水泵上，另一端连接在底盘冷却水入口管处；所述板式换热器上还设置有循环水出口和循环水入口。

5.用于权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘和尾气冷却系统的冷却方法，其特征在于：将120~150℃的冷却水从尾气冷却水入口处加入尾气冷却结构中，将尾气冷却水入口处的入水表压设置为0.55~0.65MPaG，设置尾气冷却水流量为25~35t/h，经过尾气冷却结构的夹层套管，当冷却水进入到闪蒸罐时，设置闪蒸罐闪蒸压强0.15~0.4MPaG，闪蒸出蒸气进行收集。

6.如权利要求5所述的一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却方法，其特征在于：所述尾气冷却水的排出时温度为140~170℃，表压为0.5~0.6 MPaG，在尾气冷却水循环泵中补充冷却水进入，将冷却水的温度降至120~150℃，从尾气冷却水入口处加入尾气冷却结构中，重复利用。

7.如权利要求5或6所述的一种多晶硅还原炉底盘和尾气冷却方法，其特征在于：将35~80℃的冷却水从底盘冷却水入口管处加入到底盘冷却水结构中，设置底盘水入口管处的表压为0.55~0.65MPaG，设置底盘冷却水的流量为15~25t/h，同时设置底盘冷却水出口处表压0.5~0.6 MPaG，底盘冷却水出口管处冷却水温度85~95℃，从底盘冷却水出口管排出的冷却水经过底盘冷却水循环水泵输送带板式换热器中，在板式换热器中加入新的冷却水并将冷却水温度控制在35~80℃，重新从底盘冷却水入口管处加入到底盘冷却水结构中，重复步骤反复利用。