[发明专利]微机电系统（MEMS）结构及设计结构有效
| 申请号： | 201410270234.8 | 申请日： | 2014-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN104241034B | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | W·A·约翰逊;J·E·拉里;A·K·斯坦珀;K·M·沃森;余佩玲 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | H01H59/00 | 分类号： | H01H59/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 酆迅 |
| 地址： | 美国纽约*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在本文中公开了微机电系统(MEMS)结构、制造和使用方法、以及设计结构。该方法包括向微机电系统(MEMS)结构的致动器应用第一电压极性，以将MEMS结构置于用于第一操作条件的预定状态。该方法还包括在后续操作条件期间向MEMS结构的致动器应用与第一电压极性相反的第二电压极性。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 结构 设计 | ||
【主权项】：
一种用于微机电系统结构的方法，包括：向微机电系统(MEMS)结构的致动器应用第一极性的电压，以将所述微机电系统结构置于用于第一操作条件的预定状态，其中所述第一极性的电压是在第一导通状态期间所应用的致动电压；以及在后续操作条件期间向所述微机电系统结构的所述致动器应用与所述第一极性的电压相反极性的第二极性的电压，其中所述第二极性的电压是在后续导通状态期间所应用的致动电压。
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