[发明专利]一种采用化学浴反应制备ZnS薄膜的方法在审
| 申请号： | 201410263895.8 | 申请日： | 2014-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN104018137A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 张宁;张亚飞;余新平;曹惠 | 申请（专利权）人： | 北京四方继保自动化股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/00 | 分类号： | C23C18/00 |
| 代理公司： | 北京金阙华进专利事务所(普通合伙) 11224 | 代理人： | 吴鸿维 |
| 地址： | 100085 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是一种采用化学浴反应制备的ZnS薄膜的方法。本方法采用硫酸锌和硫脲分别作为锌源和硫源，以氯化铵为缓冲剂，氨水和联氨为联合络合剂，在50℃～90℃水浴反应5min～30min即可制得ZnS薄膜，薄膜均匀致密，无针孔，透过率高，适合代替CdS用作CIGS薄膜太阳能电池的缓冲层。此方法不仅设备简单，操作方便，工艺重复性好，而且反应速度快，制得的ZnS薄膜均匀致密、透过率高，厚度可控，克服了其他制备方法所需设备昂贵且反应时间长等缺点，显著降低生产成本，提高生产效率，非常适合大规模工业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 化学 反应 制备 zns 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种采用化学浴反应制备ZnS薄膜的方法，其特征在于：所述方法采用硫酸锌和硫脲分别作为锌源和硫源，以氯化铵为缓冲剂，氨水和联氨为联合络合剂，制得ZnS薄膜。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
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