[发明专利]漂浮节点具有可变电容的源像像素及图像传感器

摘要

本发明公开了一种漂浮节点具有可变电容的源像像素及图像传感器，有源像素包括置于半导体基体中的感光元件、位于感光元件与漂浮节点之间的传输晶体管、连接漂浮节点的复位晶体管、连接漂浮节点的源跟随晶体管及开关晶体管和列位线，漂浮节点的有源区包括N型重掺杂有源区和N型轻掺杂有源区，N型重掺杂有源区和N型轻掺杂有源区均位于P阱内，并且N型轻掺杂有源区的一侧面与N型重掺杂有源区相接触，提高了图像传感器的动态范围，同时也增大了信噪比。

主权项

一种有源像素，包括置于半导体基体中的感光元件、位于感光元件与漂浮节点之间的传输晶体管、连接漂浮节点的复位晶体管、连接漂浮节点的源跟随晶体管及开关晶体管和列位线，其特征在于，所述漂浮节点的有源区包括N型重掺杂有源区和N型轻掺杂有源区，所述N型重掺杂有源区和N型轻掺杂有源区均位于P阱内，并且所述N型轻掺杂有源区的一侧面与所述N型重掺杂有源区相接触；所述N型轻掺杂有源区包括设于表面的P型硅，所述P型硅为重掺杂区，所述P型硅下方为N型轻掺杂区，所述N型轻掺杂区的完全耗尽电势高于所述感光元件的完全耗尽电势，并且低于所述N型重掺杂有源区的复位电势。