[发明专利]一种肖特基势垒器件及其制作方法有效
| 申请号： | 201410251164.1 | 申请日： | 2014-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN103985767A | 公开（公告）日： | 2014-08-13 |
| 发明（设计）人： | 洪旭峰 | 申请（专利权）人： | 上海芯石微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L21/328 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201102 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种肖特基势垒器件及其制造方法；该肖特基势垒器件具有掺氧肖特基势垒区(O-M-Si)，较传统的肖特基器件具有低的势垒高度，同等面积下，具有低的正向饱和压降（VF)。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 肖特基势垒 器件 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种肖特基势垒器件，其特征在于：势垒层(O‑M‑Si)，为掺氧金属硅化物形成的势垒结。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海芯石微电子有限公司，未经上海芯石微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410251164.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：折叠式实验教学演示台
- 下一篇：针织氨纶面料预缩装置
- 同类专利
- 专利分类
