[发明专利]缺陷单元聚类方法及其装置

摘要

本发明提供缺陷单元聚类方法及其装置，该方法及装置进一步反映通过各个产品的制造历史信息选定的各个产品的疑似缺陷设备信息以对缺陷进行聚类。本发明包括步骤生成样品缺陷图，样品缺陷图表示缺陷样品的按单元位置的缺陷单元分布，缺陷样品由被区划为多个单元的产品中包含一个以上缺陷单元的产品构成；在样品缺陷图中，将存在一个以上缺陷单元的单元位置中的至少一部分选定为聚类对象；利用按产品的通过设备信息，针对聚类对象中包含的各个单元位置选定一个以上疑似缺陷设备；和将聚类对象归类为一个以上群组以使在一个群组中包含的第一单元位置与第二单元位置具有至少一个疑似缺陷设备，并在第一单元位置与第二单元位置之间成立位置相关关系。

主权项

一种缺陷单元聚类方法，其特征在于，包括以下的步骤：生成样品缺陷图，所述样品缺陷图表示缺陷样品的按单元位置的缺陷单元分布，所述缺陷样品由被区划为多个单元的产品中包含一个以上缺陷单元的产品构成；在所述样品缺陷图中，将存在一个以上缺陷单元的单元位置中的至少一部分选定为聚类对象；利用按所述产品的通过设备信息，针对所述聚类对象中包含的各个单元位置，选定一个以上的疑似缺陷设备；和将所述聚类对象归类为一个以上的群组，以使在一个群组中包含的第一单元位置与第二单元位置具有至少一个疑似缺陷设备，并且在所述第一单元位置与所述第二单元位置之间成立位置相关关系，所述位置相关关系包括邻接型位置模式及对称型位置模式中的一个，所述疑似缺陷设备的选定步骤包括以下的步骤：针对各个单元位置运算各个设备的缺陷占比；和利用所述缺陷占比对所述各个单元位置选定一个以上的疑似缺陷设备，对于特定单元位置的特定设备的所述缺陷占比是依据所述特定设备的缺陷数除以所述特定设备所属工序的缺陷数来运算，所述特定设备所属工序的缺陷数是在所述特定单元位置为缺陷单元的产品中通过所述特定设备所属工序的产品的数量，所述特定设备的缺陷数是在所述特定单元位置为缺陷单元的产品中通过所述特定设备的产品的数量。