[发明专利]错位复杂微通道微型换热器

摘要

错位复杂微通道微型换热器，属于微电子换热器技术领域，包括封装在一起的封装片(1)，基板(2)；封装片上开有与外部管路连接的流体入口(3)和流体出口(4)；基板的正面刻蚀有错位复杂微通道(5)、进口处的蓄液槽(6)和出口处的蓄液槽(7)。本装置满足大功率电子芯片的散热；同时弥补高效金属微散热器热膨胀系数不匹配的应用限制和被冷却表面(即电子芯片)温度分布不均匀的缺点。

主权项

一种流体强制对流错位复杂微通道微型换热器，其特征在于，包括依次叠层封装在一起封装片(1)，基板(2)；封装片(1)表面的两边开有与外部管路连接的通孔，分别作为流体入口(3)和流体出口(4)；基板(2)正面的四周为平整的一圈凸起，在垂直方向上与流体入口(3)和流体出口(4)相应位置的基板正面为矩形凹槽即进口蓄液槽(6)和出口蓄液槽(7)，基板正面的中间区域即进口蓄液槽(6)和出口蓄液槽(7)之间的区域为错位复杂微通道区域(5)，错位复杂微通道区域(5)的顶面与封装片形成封闭的多根并联错位复杂微通道，错位复杂微通道区域(5)将进口蓄液槽(6)和出口蓄液槽(7)区域连通，错位复杂微通道区域(5)垂直于通道方向的相对的两边分别与基板正面的凸起连接；封装片(1)密封盖在基板(2)的正面上，封装片(1)的流体入口(3)位于基板(2)进口蓄液槽(6)的正上方，封装片(1)的流体出口(4)位于基板(2)出口蓄液槽(7)的正上方；错位复杂结构微通道是由相邻两个错位的扇形凹槽的长条微结构相对的两个壁面或由相邻两个错位三角凹槽的长条微结构相对的两个壁面与封装片的下表面形成的多根封闭平行通道并联组成；所述含有扇形凹槽的长条微结构指的是以多个平行的平直长条微结构为基础，任一个平直长条与相邻的平直长条平行相对的两侧面均刻有扇形凹槽，扇形凹槽是凹向平直长条中心轴的，扇形凹槽的高度与平直长条的高度齐平，扇形凹槽任意高度所在的扇面均与平直长条的中心轴平行，扇形凹槽在平直长条的两个侧面错位均匀分散布置，即在同一侧面是扇形凹槽和未刻蚀的直平面交替分布，同一平直长条两侧面的扇形凹槽是交错分布的，即一侧面的扇形凹槽对应另一侧面的未刻蚀的直平面，从总体看形成波浪形状；任意相邻两个含有扇形凹槽的长条微结构之间形成微通道的相对的两侧面是扇形凹槽相对扇形凹槽、未刻蚀的直平面相对未刻蚀的直平面；所述的含有三角凹槽的长条微结构与含有扇形凹槽的长条微结构相同，只是将扇形凹槽替换为三角形凹槽；错位复杂微通道区域(5)的顶面与基板正面四周的凸起齐平；流体入口和出口与流体在通道里的流动方向垂直。