[发明专利]一种电共轭流体微型泵

摘要

本发明公开了一种电共轭流体微型泵，其三棱柱电极、条状缝隙电极、流道槽通过紫外光刻加工技术形成一体化的结构，使三棱柱电极和条状缝隙电极的对中精度高，射流性能好，条状缝隙电极的两侧与流道槽壁为一体化的紧密连接结构、密封性好，避免了电共轭流体在不同电极对间的不规则流动，也提高了射流效率；三棱柱电极、条状缝隙电极、流道槽、导电带通过紫外光刻加工技术形成一体化的结构，使其结构更紧凑、合理，体积小，功率密度大；上盖板与下壳体之间的粘接装配方式，进一步使其外部轮廓尺寸小，功率密度大。使得电共轭流体泵的微型化得以实现。

主权项

一种电共轭流体微型泵，包括上盖板（1）、下壳体（2）、入液短管（3）和出液短管（4），其特征在于：所述的下壳体（2）的底部设置有基板（5），在硅质的基板（5）上通过紫外光刻技术形成有：胶质的高度为300‑500um的流道槽（6），流道槽（6）内依次排列有多个镍质的电极对，电极对的高度与流道槽（6）的高度相同，每一电极对由三棱柱电极（7）和条状缝隙电极（8）组成，三棱柱电极（7）的尖端与条状缝隙电极（8）的缝隙相对，条状缝隙电极（8）的两侧与流道槽（6）壁紧密连接；基板（5）上还通过紫外光刻技术形成有：三棱柱电极导电带（9）和条状缝隙电极导电带（10），所有的三棱柱电极（7）均与三棱柱电极导电带（9）电连接，所有的条状缝隙电极（8）均与条状缝隙电极导电带（10）电连接，三棱柱电极导电带（9）和条状缝隙电极导电带（10）的引出端均伸出流道槽（6）并分别与正极引出线（11）和负极引出线（12）焊接；基板（5）的上表面粘结硅胶密封板（13），硅胶密封板（13）上覆盖上盖板（1），上盖板（1）下表面的侧缘与下壳体（2）的侧壁顶面粘结；入液短管（3）和出液短管（4）固定在上盖板（1）上，并通过上盖板（1）、硅胶密封板（13）的相应通孔分别与流道槽的进液端和出液端相通；正极引出线（11）和负极引出线（12）穿出上盖板（1）。