[发明专利]一种电共轭流体微型泵

权利要求书

1.一种电共轭流体微型泵，包括上盖板（1）、下壳体（2）、入液短管（3）和出液短管（4），其特征在于：

所述的下壳体（2）的底部设置有基板（5），在硅质的基板（5）上通过紫外光刻技术形成有：胶质的高度为300-500um的流道槽（6），流道槽（6）内依次排列有多个镍质的电极对，电极对的高度与流道槽（6）的高度相同，每一电极对由三棱柱电极（7）和条状缝隙电极（8）组成，三棱柱电极（7）的尖端与条状缝隙电极（8）的缝隙相对，条状缝隙电极（8）的两侧与流道槽（6）壁紧密连接；

基板（5）上还通过紫外光刻技术形成有：三棱柱电极导电带（9）和条状缝隙电极导电带（10），所有的三棱柱电极（7）均与三棱柱电极导电带（9）电连接，所有的条状缝隙电极（8）均与条状缝隙电极导电带（10）电连接，三棱柱电极导电带（9）和条状缝隙电极导电带（10）的引出端均伸出流道槽（6）并分别与正极引出线（11）和负极引出线（12）焊接；

基板（5）的上表面粘结硅胶密封板（13），硅胶密封板（13）上覆盖上盖板（1），上盖板（1）下表面的侧缘与下壳体（2）的侧壁顶面粘结；入液短管（3）和出液短管（4）固定在上盖板（1）上，并通过上盖板（1）、硅胶密封板（13）的相应通孔分别与流道槽的进液端和出液端相通；正极引出线（11）和负极引出线（12）穿出上盖板（1）。

2.如权利要求1所述一种电共轭流体微型泵，其特征在于：所述的下壳体（2）的底部与基板（5）之间还设有硅胶缓冲层（14）。

3.如权利要求1所述一种电共轭流体微型泵，其特征在于，所述的条状缝隙电极（8）的具体结构是：两个横截面呈“L”形的电极的长边的端部相对，且两个电极相对的端部间留有缝隙。