[发明专利]半导体装置

摘要

本发明提供具有能够使耐压提高的终端结构的半导体装置。具有第一导电型的第一半导体层；第一绝缘层，与所述第一半导体层相接而设置；第二导电型的第二半导体层，与所述第一绝缘层相接，设置于所述第一半导体层内；以及多个平坦的场板电极，设置于所述第一绝缘层内，距所述第一半导体层的距离不同，所述多个平坦的场板电极被周期性配置，周期性配置的所述场板电极中的、离单元区域最近的一个周期的所述场板电极与发射电极连接，与发射电极连接的所述场板电极的外侧的所述场板电极成为浮动部半导体装置。

主权项

一种半导体装置，具有：第一导电型的第一半导体层；第一绝缘层，与所述第一半导体层相接而设置；第二导电型的第二半导体层，与所述第一绝缘层相接并设置于所述第一半导体层内；以及多个平坦的场板电极，设置于所述第一绝缘层内，距所述第一半导体层的距离不同，所述多个平坦的场板电极被周期性配置，周期性配置的所述场板电极中的最靠近单元区域的一个周期的所述场板电极与发射电极连接，与发射电极连接的所述场板电极的外侧的所述场板电极成为浮动部，使最靠近所述单元区域的区域为第一终端区域、使比所述第一终端区域更远离所述单元区域的区域为第二终端区域时，所述第一终端区域和所述第二终端区域的任一区域中都具有多个所述场板电极，多个所述场板电极的距第一半导体层的距离不同，在所述第一终端区域中，多个所述场板电极分别与所述发射电极连接，在所述第二终端区域中，多个所述场板电极各自被电连接着，处于浮动电位。