[发明专利]一种异质结太阳能电池载板有效
| 申请号： | 201410057327.2 | 申请日： | 2014-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN104867850A | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 吴科俊;陈金元;刘传生 | 申请（专利权）人： | 上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想能源设备(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286 | 代理人： | 黄海霞 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种异质结太阳能电池载板，所述异质结太阳能电池载板包括顶面以及自顶面凹陷的用以收容并平置基片的凹槽，所述基片设有位于所述凹槽内的上表面，所述载板顶面与基片上表面之间的高度差为0~0.35mm。如此设置，有助于基片获得更加均匀的等离子体分布，提高整个基片内膜层的工艺均匀性，从而提高薄膜质量，进而提升异质结太阳能电池性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异质结 太阳能电池 | ||
【主权项】：
一种异质结太阳能电池载板，包括顶面以及自顶面凹陷的用以收容并平置基片的凹槽，所述凹槽内设有侧面，所述基片设有位于所述凹槽内的上表面及侧表面，其特征在于：所述载板顶面与基片上表面之间的高度差为0~0.35mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想能源设备(上海)有限公司，未经上海理想万里晖薄膜设备有限公司;理想能源设备(上海)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410057327.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：平面显示装置用阵列基板的制造方法
- 下一篇：半导体器件
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
