[发明专利]沉积装置、沉积设备及其操作方法在审
| 申请号： | 201380081379.7 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN105874095A | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 乌韦·许斯勒;斯蒂芬·班格特;卡尔·阿尔伯特·凯姆;乔斯·曼纽尔·迭格斯-坎波 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/14 | 分类号： | C23C14/14;C23C14/24;C23C14/54;B01D1/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭露一种用于蒸发材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，所述材料包括碱金属或碱土金属。沉积装置包含：第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使材料液化，其中第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入第一腔室；蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；管线，提供第一腔室与蒸发区域之间的用于液化的材料的流体连通，其中管线包含第一部分，所述第一部分限定管线的流动阻力；阀，所述阀被配置为用于控制第一腔室中的气体的流率而用于控制通过具有所述流动阻力的管线的液化的材料的流率；及一或多个出口，用于将蒸发的材料引向基板。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 设备 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
一种用于蒸发包括碱金属或碱土金属的材料及用于将所述材料沉积于基板上的沉积装置，包括：第一腔室，所述第一腔室被配置为用于使所述材料液化，其中所述第一腔室包括气体入口，所述气体入口被配置为用于使气体进入所述第一腔室中；蒸发区域，所述蒸发区域被配置为用于使液化的材料蒸发；管线，所述管线提供所述第一腔室与所述蒸发区域之间的用于所述液化的材料的流体连通，其中所述管线包含第一部分，所述第一部分限定所述管线的流动阻力；阀，所述阀被配置为用于控制所述第一腔室中的所述气体的流率而用于控制通过具有所述流动阻力的所述管线的所述液化的材料的流率；及一或多个出口，所述一或多个出口用于将所述蒸发的材料引向所述基板。
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