[发明专利]具有非晶金属电阻器的热喷墨打印头堆叠件有效

专利信息
申请号: 201380076125.6 申请日: 2013-07-12
公开(公告)号: CN105163941B 公开(公告)日: 2017-10-24
发明(设计)人: 小詹姆斯·埃尔默·阿博特;罗伯托·A·普列塞;格雷·斯考特·朗 申请(专利权)人: 惠普发展公司;有限责任合伙企业
主分类号: B41J2/335 分类号: B41J2/335;B41J2/345
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司11018 代理人: 康泉,王珍仙
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开内容涉及具有非晶金属电阻器的热喷墨打印头堆叠件,其包括绝缘基底和应用至绝缘基底的电阻器。电阻器可以包括从5原子%至90原子%的类金属碳、硅或者硼;和分别从5原子%至90原子%的第一和第二金属钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱或者铂,其中第二金属不同于第一金属。类金属、第一金属和第二金属可以占非晶薄金属膜的至少70原子%。
搜索关键词: 具有 金属 电阻器 喷墨 打印头 堆叠
【主权项】:
一种具有非晶金属电阻器的热喷墨打印头堆叠件,包括:绝缘基底;应用至所述绝缘基底的电阻器,所述电阻器包括如下的非晶膜:5原子%至90原子%的类金属,其中所述类金属是碳、硅或者硼,5原子%至90原子%的第一金属,其中所述第一金属是钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱或者铂,和5原子%至90原子%的第二金属,其中所述第二金属是钛、钒、铬、钴、镍、锆、铌、钼、铑、钯、铪、钽、钨、铱或者铂,其中所述第二金属不同于所述第一金属,其中所述类金属、所述第一金属和所述第二金属占所述非晶膜的至少70原子%,且其中所述电阻器的所述非晶膜具有小于1nm的表面RMS粗糙度。
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