[发明专利]能量敏感树脂组合物有效
| 申请号： | 201380068780.7 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN104885009B | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 野田国宏;千坂博树;盐田大;染谷和也 | 申请（专利权）人： | 东京应化工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;C08K5/33;C08K5/3445;C08L79/08;G03F7/004;H01L21/027;C07C323/47;C07D209/86;C07D233/60 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 葛凡 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供即使在低温下的热处理也供给耐热性优异、介电常数低的聚酰亚胺树脂的能量敏感树脂组合物、使用上述能量敏感树脂组合物的聚酰亚胺膜或聚酰亚胺成形体的制造方法、和使用上述能量敏感树脂组合物的图案形成方法。本发明所涉及的能量敏感树脂组合物含有使四羧酸二酐与二胺反应而得的聚酰胺酸、溶剂、和通过光和/或热的作用进行分解而产生碱和/或酸的化合物(A)。本发明所涉及的聚酰亚胺膜或聚酰亚胺成形体的制造方法包括：形成包含上述组合物的涂膜或成形体，通过曝光或加热将上述涂膜或成形体中的化合物(A)分解。本发明所涉及的图案形成方法包括：形成包含上述组合物的涂膜或成形体，选择性曝光，在曝光后显影，在显影后加热。 | ||
| 搜索关键词： | 能量 敏感 树脂 组合 | ||
【主权项】：
一种能量敏感树脂组合物，其含有：使四羧酸二酐与二胺反应而得的聚酰胺酸、溶剂、和通过光和热中的至少一者的作用进行分解而产生碱和酸中的至少一者的化合物(A)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京应化工业株式会社，未经东京应化工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380068780.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
