[发明专利]角加速度传感器以及加速度传感器在审
| 申请号： | 201380064793.7 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN104838274A | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 北居正弘;市丸正幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12;H01L29/84 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张鑫 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能同时实现宽检测频带和高S/N比的角加速度传感器以及加速度传感器。角加速度传感器(10)具有沿着X-Y面的平板面，包括：固定部(12)、锤部(13)、梁部(14)、以及压电电阻元件(15A～15D)。锤部(13)相对于固定部(12)被支承。梁部(14)沿着Y轴延伸，连接固定部(12)和锤部(13)。梁部(14)包括贯通Z轴方向的贯通孔(27A～27D)，以及在X轴方向突出的宽度方向凸部(28A、28B)。压电电阻元件(15A～15D)在Y轴方向上的位置与贯通孔(27A～27D)重叠，同宽度方向凸部(28A、28B)错开。 | ||
| 搜索关键词： | 角加速度 传感器 以及 加速度 | ||
【主权项】：
一种角加速度传感器，其特征在于，具有平板面，包括：固定部；锤部，该锤部相对于所述固定部被支承；梁部，该梁部在所述平板面内延伸，连接所述固定部以及所述锤部；以及检测元件，该检测元件设置在所述梁部，检测由所述梁部的平板面内的弯曲产生的应力，所述梁部包括宽度方向凸部，该宽度方向凸部在所述宽度方向突出，所述检测元件在所述延伸方向上的位置同所述宽度方向凸部错开。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380064793.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种清洗机使用的可调式导向装置
- 下一篇：液晶玻璃除尘排灰装置
