[发明专利]角加速度传感器以及加速度传感器

权利要求书

1.一种角加速度传感器，其特征在于，

具有平板面，包括：

固定部；

锤部，该锤部相对于所述固定部被支承；

梁部，该梁部在所述平板面内延伸，连接所述固定部以及所述锤部；以及

检测元件，该检测元件设置在所述梁部，检测由所述梁部的平板面内的弯曲产生的应力，

所述梁部包括宽度方向凸部，该宽度方向凸部在所述宽度方向突出，

所述检测元件在所述延伸方向上的位置同所述宽度方向凸部错开。

2.一种角加速度传感器，其特征在于，

具有平板面，包括：

固定部；

锤部，该锤部相对于所述固定部被支承；

梁部，该梁部在所述平板面内延伸，连接所述固定部以及所述锤部；以及

检测元件，该检测元件设置在所述梁部，检测由所述梁部的平板面内的弯曲产生的应力，

所述梁部包括贯通孔，该贯通孔在垂直于平板面的板厚方向上贯通，

所述检测元件在所述延伸方向上的位置与所述贯通孔重叠。

3.如权利要求2所述的角加速度传感器，其特征在于，

所述梁部包括宽度方向凸部，该宽度方向凸部在所述宽度方向突出，

所述检测元件在所述延伸方向上的位置同所述宽度方向凸部错开。

4.如权利要求1～3中任一项所述的角加速度传感器，其特征在于，

所述梁部中在平板面内与延伸方向垂直的宽度方向的尺寸，大于所述梁部和所述固定部的连接部中所述宽度方向的尺寸。

5.如权利要求1～4中任一项所述的角加速度传感器，其特征在于，

所述梁部包括：

固定部侧梁端部，该固定部侧梁端部连接所述固定部；

锤部侧梁端部，该锤部侧梁端部连接所述锤部；以及

平板部，该平板部连接在所述固定部侧梁端部和所述锤部侧梁端部之间，垂直于平板面的板厚方向的尺寸小于所述固定部侧梁端部以及所述锤部侧梁端部的所述板厚方向的尺寸，

所述检测元件设置在所述平板部。

6.如权利要求5所述的角加速度传感器，其特征在于，

所述平板部中所述宽度方向的尺寸大于所述固定部侧梁端部中所述宽度方向的尺寸。

7.如权利要求1～6中任一项所述的角加速度传感器，其特征在于，

所述锤部具有在所述宽度方向凹陷的凹部，

所述固定部具有在所述宽度方向突出、与所述凹部相对的凸部，

所述梁部在所述锤部的重心位置的附近连接所述凸部和所述凹部。

8.一种加速度传感器，其特征在于，

具有平板面，包括：

固定部；

锤部，该锤部相对于所述固定部被支承；

梁部，该梁部在所述平板面内延伸，连接所述固定部以及所述锤部；以及

检测元件，该检测元件设置在所述梁部，检测由所述梁部的平板面内的弯曲产生的应力，

所述梁部包括宽度方向凸部，该宽度方向凸部在所述宽度方向突出，

所述检测元件在所述延伸方向上的位置同所述宽度方向凸部错开。

9.一种加速度传感器，其特征在于，

具有平板面，包括：

固定部；

锤部，该锤部相对于所述固定部被支承；

梁部，该梁部在所述平板面内延伸，连接所述固定部以及所述锤部；以及

检测元件，该检测元件设置在所述梁部，检测由所述梁部的平板面内的弯曲产生的应力，

所述梁部包括贯通孔，该贯通孔在垂直于平板面的板厚方向上贯通，

所述检测元件在所述延伸方向上的位置与所述贯通孔重叠。

10.如权利要求9所述的加速度传感器，其特征在于，

所述梁部包括宽度方向凸部，该宽度方向凸部在所述宽度方向突出，

所述检测元件在所述延伸方向上的位置同所述宽度方向凸部错开。

11.如权利要求8～10中任一项所述的加速度传感器，其特征在于，

所述梁部中在平板面内与延伸方向垂直的宽度方向的尺寸，大于所述梁部和所述固定部的连接部中所述宽度方向的尺寸。