[发明专利]搬运装置在审
| 申请号： | 201380063583.6 | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN104822613A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;松尾研吾;和田芳幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社IHI |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G15/42;B65G51/03;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 通过防止基板前端的挠曲，从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，向上述第一方向驱动上述对象物；吸引部，对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触；以及变形机构，包含于上述浮起部或上述搬运部，使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。 | ||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 | ||
【主权项】：
一种搬运装置，用于通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运，其特征在于，具备：浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，并且构成为与上述对象物接触并向上述第一方向进行驱动；以及吸引部，与上述搬运部邻接并平行地延伸、或者与上述搬运部在同一直线上并排地配置，并且对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触。
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