[发明专利]搬运装置在审
| 申请号： | 201380063583.6 | 申请日： | 2013-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN104822613A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 王鹏;松尾研吾;和田芳幸 | 申请（专利权）人： | 株式会社IHI |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B65G15/42;B65G51/03;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 丁文蕴;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 搬运 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种搬运装置，用于通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运，其特征在于，具备：
浮起部，通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起；
搬运部，具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起，并且构成为与上述对象物接触并向上述第一方向进行驱动；以及
吸引部，与上述搬运部邻接并平行地延伸、或者与上述搬运部在同一直线上并排地配置，并且对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触。
2.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
上述吸引部和上述多个突起沿上述第一方向交替配置。
3.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
上述浮起部或上述搬运部包括变形机构，该变形机构构成为使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。
4.根据权利要求3所述的搬运装置，其特征在于，
上述变形机构是构成为使上述浮起部产生比上述多个突起上的上述对象物的高度低的浮起高度的气体供给装置，或者上述变形机构是形成为比上述浮起部上的上述对象物的浮起高度高的上述多个突起。
5.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
还具备循环部，该循环部构成为使上述吸引部吸引的上述气体在上述浮起部循环。
6.根据权利要求1所述的搬运装置，其特征在于，
上述多个突起的各前端具有向上述浮起部下降的倾斜。
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