[发明专利]试料冷却支架以及冷却源容器

摘要

在现有的试料冷却支架中，若试料的朝向变换则冷却源容器也一同倾斜，而容纳的冷却源产生起泡。因此，提供一种试料冷却支架(13)，其具有机构(14、15、17、18)，该机构即使在使试料(1)向适于加工或者观察的朝向倾斜，也能够一边沿恒定方向保持冷却源容器的姿势一边冷却试料(1)。另外，提供一种冷却源容器，其在相对于外部空气对保持冷却源的内侧容器(23)进行真空绝热的外侧容器(21)安装有真空保持机构(24、25)。

主权项

一种试料冷却支架，其特征在于，具有：冷却试料台支承台，其对载置有利用带电粒子进行加工或者观察的试料的冷却试料台进行安装；第一导热部件，其将从冷却源传递来的热向上述冷却试料台支承台传递，并且与上述试料的朝向的变化相应地变形；第二导热部件，其将上述冷却源的热向上述第一导热部件传递；第一筒部件，其前端部固定于上述冷却试料台支承台，并且将上述第一导热部件以及上述第二导热部件以可动的方式容纳在内空间；以及冷却源容器安装部，其将上述第一筒部件安装为能够转动，并且将容纳上述冷却源的冷却源容器安装为能够装卸，该试料冷却支架还具有：第二筒部件，其在内侧容纳上述第一筒部件；以及支架前端护罩，其配置于上述第一筒部件的前端，与沿上述第一筒部件的外表面向前端方向滑动的上述第二筒部件的前端侧端面接触来生成密闭空间。