[发明专利]试料冷却支架以及冷却源容器

权利要求书

1.一种试料冷却支架，其特征在于，具有：

冷却试料台支承台，其对载置有利用带电粒子进行加工或者观察的试料的冷却试料台进行安装；

第一导热部件，其将从冷却源传递来的热向上述冷却试料台支承台传递，并且与上述试料的朝向的变化相应地变形；

第二导热部件，其将上述冷却源的热向上述第一导热部件传递；

第一筒部件，其前端部固定于上述冷却试料台支承台，并且将上述第一以及上述第二导热部件以可动的方式容纳在内空间；以及

冷却源容器安装部，其将上述第一筒部件安装为能够转动，并且将容纳上述冷却源的冷却源容器安装为能够装卸。

2.根据权利要求1所述的试料冷却支架，其特征在于，具有：

第二筒部件，其在内侧容纳上述第一筒部件；以及

支架前端护罩，其配置于上述第一筒部件的前端，与沿上述第一筒部件的外表面向前端方向滑动的上述第二筒部件的前端侧端面接触来生成密闭空间。

3.根据权利要求2所述的试料冷却支架，其特征在于，

上述第一筒部件具有在对上述密闭空间进行真空排气时使用的真空排气口。

4.根据权利要求2所述的试料冷却支架，其特征在于，

上述支架前端护罩是真空遮挡用垫片。

5.根据权利要求2所述的试料冷却支架，其特征在于，

上述支架前端护罩是具有耐热性的树脂制部件。

6.根据权利要求1所述的试料冷却支架，其特征在于，

上述冷却试料台通过固定螺纹件安装于上述冷却试料台支承台，上述固定螺纹件具有一字形状的螺纹槽的两端未达到螺纹件头部的端部的形状。

7.根据权利要求1所述的试料冷却支架，其特征在于，

上述冷却试料台支承台通过点接触固定于上述第一筒部件。

8.一种冷却源容器，其特征在于，具有：

内侧冷却源容器，其至少具有供构成权利要求1所述的试料冷却支架的上述第二导热部件的一端侧插入的开口，并在内空间保持从外部导入的冷却源；

外侧冷却源容器，其对上述内侧冷却源容器进行真空绝热；以及

真空保持盖，其安装在形成于上述外侧冷却源容器的一部分的真空排气口，并对真空绝热用的密闭空间的真空状态进行保持。

9.根据权利要求8所述的冷却源容器，其特征在于，

上述内侧冷却源容器与供上述第二导热部件的一端侧插入的开口不同地具有用于导入冷却源的专用的开口。

10.一种冷却源容器，其特征在于，具有：

内侧冷却源容器，其在内空间保持冷却源，该冷却源用于利用带电粒子进行加工或者观察的试料的冷却；

外侧冷却源容器，其对上述内侧冷却源容器进行真空绝热；以及

真空保持盖，其安装在形成于上述外侧冷却源容器的一部分的真空排气口，并对真空绝热用的密闭空间的真空状态进行保持。