[发明专利]化学气相沉积反应器中辐射测量偏离误差的缩减

摘要

用以减少在例如CVD反应器之类的容器中的辐射测温偏离误差的设备。在一实施例中，辐射测温计利用焦外远心透镜装置。焦外远心透镜装置聚焦于无限远处，但却被用于捕获来自于焦点外之相对接近之目标物(例如在数米内)之辐射。捕获来自目标物之准直的辐射减少了杂散辐射之贡献。在另一实施例中，源自于周围加热组件之指定部分之散射辐射，可藉由若干机制中的一个而局部地减少，包含减少指定部分之发射(例如操作温度)、或者捕获源自于该指定部分之辐射之一部分或使其偏斜。固定于接近由晶圆载具之中心延伸之轴线并横跨该指定部分的辐射测温计承受较少的杂散辐射，藉此可提供更可靠之温度读数。

主权项

一种远心光学装置，其用于适用于缩减目标物温度测量上杂散辐射之效应的辐射测温计，该远心光学装置包括：孔径光闸；由一个或多个光学元件构成的物组件，该物组件用以传输辐射至该孔径光闸，该物组件及该孔径光闸限定出光学轴，该物组件限定出相对于该物组件内第一参考点的第一焦距，该第一参考点位于该光学轴上且与该孔径光闸相隔一段距离，该距离等于该物组件的该第一焦距，以将来自于该目标物的经视口窗的该辐射传输通过该物组件，并将来自于该目标物之该辐射聚焦于该孔径光闸上，该视口窗设置于凹槽内以限制入射于该视口窗上之杂散辐射量；及电磁辐射探测器，用以产生表示该目标物之该温度测量的信号，该信号来自于由该物组件透过该孔径光闸传输到该电磁辐射探测器的该辐射之至少一部分，该远心光学装置安装于晶圆载具上方，并调整位向在使得由该目标物传输到该物组件之该辐射焦外的距离，观察由该晶圆载具之顶面所支持的该目标物。