[发明专利]晶片检查用接口和晶片检查装置

摘要

本发明提供一种能够良好地使设置于晶片的半导体器件的电极与探针卡的探针抵接而不受探针卡的探针长度的影响的晶片检查用接口。晶片检查用接口(40)，包括：探针卡(43)，其在与晶片(W)相对的相对面具有多个探针(43b)；对探针卡(43)的与形成有探针(43b)的面相反一侧的面进行支承的弹簧架(42)；隔着晶片(W)与探针卡(43)相对的台状的吸盘部件(45)；将吸盘部件(45)与弹簧架(42)之间的空间密封的筒状的波纹管(46)，其一端固定在弹簧架(42)，另一端的下部凸缘(46b)与吸盘部件(45)抵接；对波纹管(46)的长度进行调节的长度调节机构；对波纹管(46)的移动进行引导的导向部件(47)；和对吸盘部件(45)与弹簧架(42)之间的空间进行减压的减压路径(51)。

主权项

一种晶片检查用接口，其特征在于，包括：探针卡，其在与晶片相对的相对面具有与形成于该晶片的多个半导体器件的电极对应设置的多个探针；对该探针卡的与形成有所述探针的面相反一侧的面进行支承的支承板；隔着所述晶片与所述探针卡相对的台状的吸盘部件；将该吸盘部件与所述支承板之间的空间密封的筒状的折皱部件，其一端固定在所述支承板，另一端与所述吸盘部件抵接；对该折皱部件的长度进行调节的长度调节机构；对所述折皱部件的移动进行引导的引导部件；和对所述空间进行减压的减压路径。