[发明专利]源容器及气相沉积反应炉

摘要

本发明涉及源容器及气相沉积反应炉。根据本发明的实施例的源容器包括容器，其包括内壁，所述内壁用于限定第一空间和第二空间，第一空间用于收容源材料，第二空间则与第一空间相邻，在第二空间混合有向内部引入的运载气体以及由源材料生成的蒸汽；运载气体流入流道，使容器的外部与第二空间相连通，包括露在第二空间内的流入端口；混合气体排出流道，使容器的外部与第二空间相连通，并包括露在第二空间内的排出端口；以及限流部件，在第二空间内扩张，在流入端口与排出端口之间提供第一流动障碍面。

主权项

一种源容器，其特征在于，包括：容器，其包括内壁，所述内壁用于限定第一空间和第二空间，所述第一空间用于收容源材料，所述第二空间则与所述第一空间相邻，在所述第二空间混合有向内部引入的运载气体以及由所述源材料生成的蒸汽；运载气体流入流道，使所述容器的外部与所述第二空间相连通，并包括露在所述第二空间内的流入端口；混合气体排出流道，使所述容器的外部与所述第二空间相连通，并包括露在所述第二空间内的排出端口；限流部件，在所述第二空间内扩张，在所述流入端口与所述排出端口之间提供第一流动障碍面；以及喷嘴，所述喷嘴包括多个通孔，所述多个通孔与流入流道相连通；其中，所述喷嘴与所述运载气体流入流道相结合；其中，所述多个通孔以向所述源材料的表面侧喷射所述运载气体的方式排列。