[发明专利]微波等离子体化学气相沉积装置

摘要

一种用于生长钻石的装置，该装置包括一个或多个腔室，每个腔室与一个或多个其他腔室流体连接，每个腔室包括腔室内的一个或多个基底载置台组件以支承基底载置台，该基底载置台具有布置在其上的多个钻石晶种。

主权项

一种用于生长钻石的装置，所述装置包括：一个或多个腔室，当存在两个或更多个腔室时，每个腔室彼此或者相互流体连接，每个腔室包括在所述腔室内的一个或多个基底载置台组件用于支承基底载置台，所述基底载置台具有布置在其上的多个钻石晶种，其特征在于，每个腔室被用于允许气体流动通过，从而气体的纯度随着气体经过每个腔室而改善。