[发明专利]抛光组合物有效
| 申请号： | 201380003983.8 | 申请日： | 2013-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN104011155B | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 细川公一郎;太田庆治;吉田昭一郎 | 申请（专利权）人： | 霓达哈斯股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/321 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司11285 | 代理人： | 钟守期,苏萌 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的抛光组合物为抛光在绝缘层上形成的含钨金属层的抛光组合物，其包括磨粒、从由碘酸、亚碘酸和次碘酸组成的组中选择的一种以上的卤素酸、强酸、氢离子供给剂和水。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 | ||
【主权项】：
抛光组合物，其为抛光在绝缘层上形成的含钨金属层的抛光组合物，其包括磨粒、从由碘酸、亚碘酸和次碘酸组成的组中选择的一种以上的卤素酸、强酸、氢离子供给剂和水，所述氢离子供给剂为从由强酸与弱碱组成的盐、磷酸、乳酸、马来酸和草酸组成的组中选择的一种以上。
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