[实用新型]一种筛板及具有该筛板的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201320874562.X | 申请日： | 2013-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN203800010U | 公开（公告）日： | 2014-08-27 |
| 发明（设计）人： | 习王锋;黄秀颀;蔡世星;刘成;杨硕;施露 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 尹学清 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种筛板及具有该筛板的等离子体处理装置，筛板设置于等离子体处理装置的反应腔内，所述筛板上设有多个分区，各分区间彼此独立设置，在每个分区的所述筛板上均匀设置多个气孔；所述的筛板由各个分区拼接而成，且各分区拼接后位于同一平面内。本实用新型通过将各分区进行拼接，使筛板的通用性能和互换性能更强，降低更换筛板所产生的成本，方便了对筛板的薄膜沉积和蚀刻的均匀性进行局部调节和更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 筛板 具有 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种筛板，其设置于等离子体处理装置的反应腔内，其特征在于：所述筛板上设有多个分区，各分区间彼此独立设置，在每个分区的所述筛板上设置多个气孔；所述的筛板由各个分区拼接而成，且各分区拼接后位于同一平面内。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司，未经昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320874562.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
