[实用新型]一种筛板及具有该筛板的等离子体处理装置

权利要求书

1.一种筛板，其设置于等离子体处理装置的反应腔内，其特征在于：所述筛板上设有多个分区，各分区间彼此独立设置，在每个分区的所述筛板上设置多个气孔；所述的筛板由各个分区拼接而成，且各分区拼接后位于同一平面内。

2.根据权利要求1所述的筛板，其特征在于：

位于同一分区内的所有所述气孔均为单一性气孔结构，同一分区内的各气孔均具有相同的气流量。

3.根据权利要求2所述的筛板，其特征在于：

所述气孔为圆柱孔、椭圆柱孔、锥形孔和方型孔中的一种。

4.根据权利要求1所述逇筛板，其特征在于：

位于同一分区内的所有所述气孔至少设置两种气孔结构，同一分区内所有各种气孔的气流量总和与在同一分区内设置单一性气孔的所述单一性气孔的气流量总和保持相同。

5.根据权利要求4所述的筛板，其特征在于：

每个分区中的所述气孔为圆柱孔、椭圆柱孔、锥形孔和方型孔中的至少两种的组合。

6.根据权利要求1所述的筛板，其特征在于：

所述筛板包括四个分区，所述四个分区中的位于同一分区中的气孔均为单一性气孔，且所述四个分区中的气孔分别为圆柱孔、椭圆柱孔、锥形孔和方型孔的任一一种。

7.根据权利要求1所述的筛板，其特征在于：

所述的筛板包括四个分区，所述的四个分区中的每一个分区中均设有两种气孔，且气孔分别为圆柱孔、椭圆柱孔、锥形孔和方型孔中的任意两种的组合。

8.根据权利要求1-7任一所述的筛板，其特征在于：

所述气孔的当量直径为0.1厘米～10厘米；每个分区中的所述气孔的间距为0.1厘米～10厘米。

9.根据权利要求1-7任一所述的筛板，其特征在于：

所述筛板两相邻的分区中，其中一分区设置有第一扣持部，另一分区设置有与所述第一扣持部相配合使两分区相拼接的第二扣持部。

10.一种等离子体处理装置，包括筛板，其特征在于，所述筛板为权利要求1-9任一所述的筛板。