[实用新型]一种减少硅片表面颗粒的检验箱

摘要

本实用新型提供一种减少硅片表面颗粒的检验箱，包括箱体、净化装置、支架、检验台、与检验台相配的强光灯、检验台旁设有储物台、通过固定架设置在箱体侧壁内侧的荧光灯和检测装置；净化装置和支架分置在箱体的上端和下端所述检测装置为真空吸笔。箱体外表面为不锈钢。所述箱体侧壁内侧设有挂钩。箱体内壁有静电喷涂的黑色无尘漆，黑色背景更有利于检测。支架主体为焊接的不锈钢，其底端有调平螺栓，可方便调节，保持设备稳定，不锈钢材料耐腐蚀性好。使用效果好，实用性高，检测效果好，有效防止产品被污染，安全性强。

主权项

一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：包括箱体（1）、净化装置（2）、支架（3）、检验台（4）,与检验台（4）相配的强光灯（5）,检验台（4）旁设有储物台（6）,通过固定架（7）设置在箱体（1）侧壁内侧的荧光灯（8）和检测装置（9）；所述净化装置（2）和支架（3）分置在箱体（1）的上端和下端。