[实用新型]一种减少硅片表面颗粒的检验箱有效

申请号：	201320804498.8	申请日：	2013-12-05
公开（公告）号：	CN203588978U	公开（公告）日：	2014-05-07
发明（设计）人：	刘琦;张晋会;李诺;刘园;吕莹	申请（专利权）人：	天津中环领先材料技术有限公司
主分类号：	H01L21/66	分类号：	H01L21/66
代理公司：	天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211	代理人：	孙春玲
地址：	300384 天津市滨海新区***	国省代码：	天津;12
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摘要：
搜索关键词：	一种减少硅片表面颗粒检验
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【权利要求书】：

1.一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：包括箱体（1）、净化装置（2）、支架（3）、检验台（4）,与检验台（4）相配的强光灯（5）,检验台（4）旁设有储物台（6）,通过固定架（7）设置在箱体（1）侧壁内侧的荧光灯（8）和检测装置（9）；所述净化装置（2）和支架（3）分置在箱体（1）的上端和下端。

2.根据权利要求1所述的一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：所述箱体（1）内壁有静电喷涂的黑色无尘漆层。

3.根据权利要求1所述的一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：所述箱体（1）外表面为不锈钢层。

4.根据权利要求1所述的一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：所述箱体（1）侧壁内侧设有挂钩（11）。

5.根据权利要求1所述的一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：所述净化装置（2）为风机过滤机组。

6.根据权利要求1所述的一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：所述支架（3）主体为焊接的不锈钢，其底端有调平螺栓（31）。

7.根据权利要求1所述的一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：所述检验台（4）上部为斜面。

8.根据权利要求1所述的一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：所述储物台（6）分为3个区。

9.根据权利要求1所述的一种减少硅片表面颗粒的检验箱，其特征在于：所述检测装置（9）为真空吸笔。

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