[实用新型]一种用于AMOLED聚合物衬底的抗激光损伤薄膜结构

摘要

本实用新型公开了一种用于AMOLED聚合物衬底的抗激光损伤薄膜结构，其设置于聚合物衬底上，所述薄膜结构包括叠加的高折射率薄膜层和低折射率薄膜层，其中所述的高折射率薄膜层和低折射率薄膜层在所述聚合物衬底上均设置至少两层，所述薄膜结构的顶层和底层均为所述高折射率薄膜层。通过在聚合物衬底上设置多层的高折射率薄膜层和低折射率薄膜层，当薄膜结构的反射率足够高时，还有可能因为激光充分反射而降低结晶化所需的ELA激光能量，使衬底材料的选择面更广。同时，本实用新型所提供的薄膜结构还能起到阻挡由聚合物衬底方向渗透的水氧的作用，可以作为水氧阻隔层使用。

主权项

一种用于AMOLED聚合物衬底的抗激光损伤薄膜结构，其设置于聚合物衬底上，其特征在于，所述薄膜结构包括叠加的高折射率薄膜层和低折射率薄膜层，其中所述的高折射率薄膜层和低折射率薄膜层在所述聚合物衬底上均设置至少两层，所述薄膜结构的顶层和底层均为所述的高折射率薄膜层。