[实用新型]一种Z轴MEMS电容式陀螺仪

摘要

本实用新型公开了一种Z轴MEMS电容式陀螺仪，包括母质量块，子质量块，驱动电容组，检测电容组，敏感电容组，基底，中央耦合结构，杠杆，锚点以及弹性梁，驱动、检测电容组的固定梳齿固定在基底上，可动梳齿与母质量块连接；敏感电容组的固定梳齿固定在基底上，可动梳齿通过弹性梁分别与子质量块和杠杆连接；母质量块通过弹性梁连接至锚点，子质量块通过弹性梁与中央耦合结构相连；中央耦合结构通过弹性梁与杠杆相连；杠杆通过弹性梁固定在锚点上。本实用新型涉及的Z轴MEMS电容式陀螺仪具有体积小，低成本，高精度，抗震性好，集成性好的特点。

主权项

一种Z轴MEMS电容式陀螺仪，其特征在于：包括基底，一对母质量块，至少一对驱动电容组，至少一对敏感电容组，中央耦合结构，一对杠杆以及锚点，其中所述每个母质量块包括两个子质量块；所述中央耦合结构，形成于基底上，包括两对端点，其另一对端点分别连接至与该端点相对应的杠杆；所述该对母质量块在中央耦合结构两侧相对设置，每个母质量块的一侧锚接至与其相对应的一个锚点，另一侧连接至中央耦合结构的一对端点的一个上，所述每个母质量块中的两个子质量块相互连接，所述该每个母质量块与其相对应的另一个锚点之间还设置了所述至少一对驱动电容组中的一个；所述至少一对驱动电容组的每个均包括固定梳齿和可动梳齿，其中固定梳齿固定在所述基底上，其可动梳齿分别连接至与之对应的母质量块靠近锚点的侧壁，所述每个驱动电容组的固定梳齿作为驱动电极接收外围电路提供的驱动信号；所述该对杠杆，分别锚接至与其相对应的锚点，并且分别连接至与之相对应的所述至少一对敏感电容组的可动梳齿；所述至少一对敏感电容组中的每一个均包括固定梳齿和可动梳齿，其中固定梳齿固定在所述基底上，其可动梳齿还分别连接至与之对应的子质量块，所述敏感电容组的固定梳齿作为敏感电极提供用于测定外加角速度值的敏感信号。