[实用新型]解离装置及具有该解离装置的钨金属化学气相沉积设备

摘要

本实用新型公开一种解离装置，其设于钨金属化学气相沉积设备中，该钨金属化学气相沉积设备具有与该解离装置连通的反应室，其特征在于，该解离装置包括：解离腔，通入有三氟化氮气体；孔板，设置于该解离腔的开口处，在该孔板上具有一开孔，用于通入微波，将该三氟化氮气体解离为氟离子，用于与该反应室内残余的钨反应，其中该反应的结束时间与该开孔的面积成反比。通过对解离腔开孔的加大，而使微波通过加大的开孔而快速地进入较多的量，由此使解离率提高，且缩短氟离子与钨的反应结束时间，该时间可缩短到620s或更短的时间。

主权项

一种解离装置，设于钨金属化学气相沉积设备中，该钨金属化学气相沉积设备具有与该解离装置连通的反应室，其特征在于，该解离装置包括： 解离腔，通入有三氟化氮气体； 孔板，设置于该解离腔的开口处，在该孔板上具有一开孔，用于通入微波，将该三氟化氮气体解离为氟离子，用于与该反应室内残余的钨反应，其中该反应的结束时间与该开孔的面积成反比。