[实用新型]一种用于光学特性参数测试的LED外延结构有效
申请号: | 201320387474.7 | 申请日: | 2013-07-01 |
公开(公告)号: | CN203351640U | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 梁秉文 | 申请(专利权)人: | 光垒光电科技(上海)有限公司 |
主分类号: | H01L33/04 | 分类号: | H01L33/04;H01L33/36 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 杨林;马翠平 |
地址: | 200050 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开一种用于光学特性参数测试的LED外延结构,其包括在衬底上依次形成的缓冲层、第一半导体层、量子阱层、第二半导体层,在第二半导体层上设有第一透明导电层,LED外延结构中设有封闭的隔离槽,隔离槽环绕部分LED外延结构,形成测试岛,测试岛作为测试区域;其中,隔离槽至少贯穿第一透明导电层、第二半导体层和量子阱层,并且隔离槽位于缓冲层之上。另外,在第一透明导电层上还设有第二透明导电层,第二透明导电层向测试岛周围延伸而形成延伸部,该延伸部用于放置接触电极。本实用新型的用于光学特性参数测试的LED外延结构,将测试区域面积固定,并且将接触电极与测试岛的接触面积固定,在测试过程中提高了测试的精度以及准确度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 光学 特性 参数 测试 led 外延 结构 | ||
【主权项】:
一种用于光学特性参数测试的LED外延结构,包括在衬底上依次形成的缓冲层、第一半导体层、量子阱层、第二半导体层,在所述第二半导体层上设有第一透明导电层,其特征在于,所述LED外延结构中设有封闭的隔离槽,所述隔离槽环绕部分所述LED外延结构,形成测试岛,所述测试岛作为测试区域;其中,所述隔离槽至少贯穿所述第一透明导电层、第二半导体层和量子阱层,并且所述隔离槽位于所述缓冲层之上。
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