[实用新型]半导体加工机台的防尘罩有效
| 申请号： | 201320338783.5 | 申请日： | 2013-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN203401623U | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 吴非;陈亚威 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种半导体加工机台的防尘罩，其与机台侧壁共同形成顶部开口的封闭空间，所述防尘罩包括能够打开用于操作机台的操作面，其中操作面包括边框，其中在边框之间形成一个可以通过移门打开和闭合的操作窗口、操作窗口下方为一个移门收容腔，所述移门可由气缸驱动自移门收容腔内移出/移入将所述操作窗口封闭/打开。本实用新型安装防尘罩无需使用设备电力，不会引起设备电力不稳定等不确定因素的影响。而采用单一气缸双直线滑轨结构，移门与防尘罩框架完全闭合，不会出现受力不均情况，直线滑轨可以保证移门同步，可以很好封闭，更好保护产品与外界环境隔离。而且本实用新型对机台的改动小，安装简单，操作方便，适用性广，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 加工 机台 防尘 | ||
【主权项】：
一种半导体加工机台的防尘罩，其特征在于，其与机台侧壁共同形成顶部开口的封闭空间，所述防尘罩包括能够打开用于操作机台的操作面，其中操作面包括边框，其中在边框之间形成一个可以通过移门打开和闭合的操作窗口、操作窗口下方为一个移门收容腔，所述移门可由气缸驱动自移门收容腔内移出/移入将所述操作窗口封闭/打开。
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