[实用新型]一种PECVD板式镀膜板框

摘要

本实用新型公开了一种PECVD板式镀膜板框，包括硅片框，所述硅片框的四个侧面均有石墨条，所述石墨条均设置有镂空图案。即在普通的PECVD板式镀膜板框的基础上特别地增加镂空图案，硅片框中设置有硅片，在与硅片相接触的四边石墨条上增加镂空图案，当PECVD板式镀膜板框搭载硅片在工艺腔镀膜时，硅片边缘的石墨条上的镂空图案可以很好地排泄多余氮化硅等离子体的气流，避免PECVD板式镀膜板框搭载硅片镀膜时氮化硅过多地沉积在石墨条上，不会影响电池片边缘的镀膜效果，并降低了硅片镀膜后的色差，提高电池片的外观等级，增加板框工作运行时间，降低车间生产成本，具有很高的使用价值。

主权项

一种PECVD板式镀膜板框，包括硅片框（1），所述硅片框（1）的四个侧面均有石墨条（2），其特征在于，所述石墨条（1）均设置有镂空图案（5）。