[实用新型]一种用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置有效
| 申请号： | 201320285757.0 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203339107U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 刘国钧;杨小旭;沈晓东 | 申请（专利权）人： | 苏州金瑞晨科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 刘宪池 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，包括电弧放电装置和等离子体发生器，所述电弧放电装置和等离子体发生器通过管道和阀门连接。本实用新型所述复合装置可以直接采用高纯度半导体（9N级晶硅）或太阳能级（6N级晶硅）铸锭的硅棒，采用电弧放电、高温等离子体气化、活化处理、接枝反应等步骤得到一种核壳结构硅纳米复合材料，成品转化率和纯度较高，使用本装置制备方法简单易行，适合规模化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用来 制备 纳米 电弧 放电 等离子体 复合 装置 | ||
【主权项】：
一种用来制备纳米硅粉的电弧放电‑等离子体复合装置，其特征在于，包括电弧放电装置和等离子体发生器，所述电弧放电装置和等离子体发生器通过管道和阀门连接。
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