[实用新型]一种用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置

权利要求书

1.一种用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，包括电弧放电装置和等离子体发生器，所述电弧放电装置和等离子体发生器通过管道和阀门连接。

2.根据权利要求1所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，所述电弧放电装置包括容纳火花放电的腔体，所述腔体一端连通供介电材料进入的管道，腔体另一端连通有第一收集腔，还包括置于腔体中的第一电极、第二电极以及与第一电极、第二电极导通的脉冲电源；所述第二电极连接有使第二电极旋转的旋转马达，所述第一电极连接有使第一电极前后移动的步进马达。

3.根据权利要求2所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，所述等离子体发生器包括中空的腔体，所述腔体上端设有供硅粉料进入的投料口和保护气氛通入的风帘；所述腔体内部分为上中下三部分，上半部分为燃烧室，中间部分为接枝反应腔，下半部分为沉淀腔；所述燃烧室内装有石英管，石英管外围绕有放电线圈，所述放电线圈外接有电源；石英管内为等离子弧；所述石英管上端连接投料口和风帘进气端；等离子弧下端设在接枝反应腔内，接枝反应腔内壁设有从外部通入活性气体和接枝反应气体的进气管道，所述活性气体进气管道的喷嘴朝向等离子弧下端。

4. 根据权利要求3所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，所述第一电极为所需制备的纳米材料的块材，其靠近第二电极的一面为凹形的圆柱面；所述第二电极为圆柱体面；所述第二电极的圆柱体面与第一电极的凹形圆柱面的间距为0.8~1.2mm。

5.根据权利要求4所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，所述投料口上端与第一收集腔的出口用管道连接，所述管道上设有第一阀门。

6.根据权利要求5所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，所述等离子体发生器的腔体外壁上设有冷却装置，所述冷却装置为装有冷却水的管道。

7.根据权利要求6所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，所述接枝反应气体的进气管道设在活性气体进气管道的下方。

8.根据权利要求7所述的用来制备纳米硅粉的电弧放电-等离子体复合装置，其特征在于，所述沉淀腔下端出口连接有第二收集腔，所述第二收集腔内设有筛网，用于收集制备好的纳米硅粉。