[实用新型]埋线式对位对准机构有效

专利信息
申请号: 201320239424.4 申请日: 2013-05-06
公开(公告)号: CN203287782U 公开(公告)日: 2013-11-13
发明(设计)人: 邱毓英;李浩玮;宋柏苇;林柄宏;邱信杰 申请(专利权)人: 全研科技有限公司
主分类号: G05D3/12 分类号: G05D3/12
代理公司: 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 代理人: 孙皓晨;李涵
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 实用新型公开一种埋线式对位对准机构,包括一固定平台、多个设置固定平台上的XYθ装置且通过缆线电性连接于一输出端,三组对应XYθ装置的位置感测器亦通过缆线电性连接于一输出端,以及设置于各XYθ装置转动单元上的移动平台,所述固定平台设有多个对应XYθ装置的贯穿孔,而固定平台的底面横设对应前述贯穿孔的埋线槽,将XYθ装置的驱动单元及位置感测器所连结的各缆线穿入贯穿孔并埋设于埋线槽内并连接于驱动单元输出端及位置感测器输出端,其后,再以一底盖封闭埋线槽并用接合件锁合于固定平台,藉以,达到XYθ装置的缆线收纳于固定平台底面,以增加环境整齐及增加缆线使用寿命。
搜索关键词: 埋线式 对位 对准 机构
【主权项】:
一种埋线式对位对准机构,其特征在于:包括一固定平台、多个设置固定平台上的XYθ装置,所述XYθ装置各具有一驱动单元与量测驱动单元一位移量的多个位置感测器,且所述XYθ装置通过缆线电性连接于一输出端,以及设置于各XYθ装置转动单元上的移动平台,以及通过缆线与输出端连接的控制器, 所述固定平台设有多个对应XYθ装置的贯穿孔,而固定平台的底面横设对应前述贯穿孔的埋线槽,将XYθ装置的驱动单元及位置感测器所连结的各缆线穿入贯穿孔并埋设于埋线槽内并连接于驱动单元输出端及位置感测器输出端,其后,再以一底盖封闭埋线槽并用接合件锁合于固定平台,达到XYθ装置的缆线收纳于固定平台底面。
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